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高精密勻膠機(jī)

更新時(shí)間:2018-05-29  |  點(diǎn)擊率:1357

高精密勻膠機(jī)型號(hào):SC200-SE

主要性能指標(biāo): 
主機(jī)機(jī)箱采用不銹鋼材料(抗化學(xué)腐蝕易清潔)  
旋涂程序:zui多存100組程序,每組100步,每個(gè)步驟可到0.1秒  
轉(zhuǎn)動(dòng)速度:0-5,000rpm(更高速可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為5000rpm  
旋涂加速度:0-10,000rpm/sec(更高可選),考慮重片或大片旋涂安全性限定為10000rpm/s  
馬達(dá)旋涂轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性能誤差 < ±1rpm  
轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度<1rpm,重復(fù)性< 1rpm  
工藝時(shí)間設(shè)定: 0-3,000 sec/step,時(shí)間設(shè)置精度:0.1sec  
支持wafer尺寸1cm-300mm(12“圓晶)  
旋涂作業(yè)均勻性:< ±3% 在6英寸范圍內(nèi)(需要去除邊緣3毫米區(qū)域測(cè)量) 


產(chǎn)品特性優(yōu)點(diǎn): 
的內(nèi)部緊湊設(shè)計(jì),縮小了設(shè)備的尺寸。  
7"觸屏控制面板操作系統(tǒng),更方便操作。  
on ®/polyethylene “密閉碗”設(shè)計(jì)可適合各種材料勻膠工藝。  
標(biāo)準(zhǔn)配置轉(zhuǎn)速5000rpm,并可根據(jù)用戶需要進(jìn)行定制。 
采用工業(yè)級(jí)別伺服電機(jī),電機(jī)設(shè)計(jì)避免光刻膠等污染物進(jìn)入電機(jī)內(nèi)部。  
機(jī)身選用耐酸堿、耐沖擊、耐腐蝕不銹鋼,生銹,便于清洗。  
排風(fēng)和抽氣系統(tǒng)位計(jì)于載片臺(tái)之底部 (以利于排風(fēng)效率和勻膠均一性)。  
透明可視,耐化學(xué)腐蝕的密封蓋,可以在旋涂作業(yè)時(shí)*隔光阻的溢出及有效隔有毒氣味的散發(fā)。 


 

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